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碳氮化钛涂层——碳氮化钛涂粉体制备（三）：

1.等离子体化学气相堆积法：

Ti(C，N)等离子体化学气相堆积法通常是用等离子体激活TiCl4反响气体，促进其在基体外表或近外表空间进行化学反响，生成Ti(C，N)固态膜的技术。后来为了避免TiCl4对反响容器的腐蚀和对环境形成污染，常采用无氯的含Ti有机物来取代TiCl4。这类含Ti有机物主要包括钛酸四甲脂、钛酸四乙脂、四异丙基钛、钛酸四丁脂及氨基钛等。

2.高能球磨诱导自蔓延组成法：

高能球磨作为一种粉体加工办法，不仅能够均匀混合并活化粉末然后降低烧结反响温度、促进合金化，还能够在室温下诱导自蔓延反响组成纳米Ti(C，N)粉体。高能球磨诱导自蔓延组成Ti(C，N)技术集粉末混合和反响于一体，克服了传统的高温条件，可直接得到Ti(C，N)粉末。

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碳氮化钛涂层——碳氮化钛涂粉体制备（三）

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