和道科技_天津硬质合金刀具_焊片锯片_碳氮化钛涂层

氮化钛涂层在微电子机械系统范畴的应用
1、使用氮化钛涂层DLC涂层低外表能作为MEMS外表资料

跟着装置零件尺度下降，外体现象变得越来越重要。伴跟着外体现象的范德华力，毛细管吸附效果以及由粘性引起的部分剪切力在微观条件下变得至关重要。MEMS的典型装置具有尺度范围从几十微米到几毫米的元件，而且一个单独元件部分的尺度(取决于磨损献身层的厚度)更是在亚微米到几微米之间。外表附着力和冲突力很大程度上决议着MEMS装置的功能。附着力低会引起产品合格率下降并在安装进程中会呈现产品品质参差不齐的问题，高的冲突磨损则会使产品提前损坏并下降产品的使用寿命。DLC具有低外表能和大的接触角，这会下降独立元器件黏附到基体上的倾向，明显提高产品合格率、可靠性和使用寿命。

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2、使用氮化钛涂层DLC涂层低冲突系数作为MEMS固体润滑剂
微型机械驱动器具有运动的部分，如微型发动机、齿轮、轴承，在运转进程中会阅历外表的紧密接合。在微尺度下，粘性剪切力特别高，所以液态润滑剂不再是下降冲突的有效途径。以Si为根底的微型电动机、微型发动机仅能正常运转几分钟接着就会因为冲突而导致崩溃。DLC涂层具有很低的冲突系数而且磨耗率(每单位滑动间隔的磨耗量)也很低，使它们成为MEMS设备抱负的固态润滑剂。试验阶段的线性电动机，滑动件外表覆盖了5~15nm厚的DLC层，延长了部件的使用寿命至(15~80)×106个周期。尽管大多数的MEMS马达并不应用于腐蚀性的空气环境中，但它们还是会经过物理吸附效果来接触到外界腐蚀环境，这个进程则会使资料的冲突耐磨功能产生适当大的动摇。四面体非晶碳膜(ta-C)在这方面的体现比含氢非晶碳膜(a-C：H)优胜，它们的冲突系数在真空及枯燥环境下较高，但却在适当的范围内体现得很稳定，即便在湿度添加的环境中也没有明显添加。
3、使用氮化钛涂层DLC涂层多种功能充任MEMS结构资料
DLC涂层作为MEMS的结构资料时吸引人的特色便是它们高的杨氏模量，高硬度，高的热传导性，低的热膨胀系数。因为具有高的谐振频率，金刚石和DLC涂层已经成功地作为结构性资料应用在悬臂梁和梳状驱动器上;因为低的热膨胀系数，它们应用在双压电晶片结构上;因为可以很大程度地散热，它们广泛应用于MEMS的封装;而应用在微型齿轮和线性电动机上则是使用了它们低的冲突系数和高的抗磨损功能。以DLC为根底的MEMS设备包括传感器和驱动器等。

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